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产品详细信息

黑龙江半导体特气检测仪XD-303(自动吸引式)的详细介绍

特点:
  采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性。
  高检测灵敏度。
  能检测很多种类的半导体特气。
  液晶数字显示。
规格

型 号
XD-303AH
XD-303PH
XD-303BH
XD-303
检测对象气体
砷 烷 ( A S H 3 )
磷 烷 ( PH 3 )
乙硼烷 ( B 2 H 6 )
其它
检 测 范 围
0 ~ 1ppm
0 ~ 0.2ppm
0 ~ 1ppm
0 ~ 0.3ppm
0 ~ 1ppm
因规格而异
最 小 刻 度
0.1ppm
0.01ppm
0.1ppm
0.01ppm
0.1ppm
 
采 样 方 式
自动吸引式
应 答 速 度
60%应答40秒

 

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