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半导体材料气体 xps-7的详细介绍
半导体材料气体 xps-7
¬ 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
¬ 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
¬ 大幅度削减成本和维护时间
型号 XPS-7 检测原理 定电位电解式 检测气体对象 半导体材料气体 指示范围 根据规格 分辨率 实现满量程的百分之一 指示精度 FS±10%以内 报警模式 2段报警方式 报警方式 蜂鸣器(间歇音)、报警灯闪烁 应答时间 60秒以内(60%应答) 电源 5号碱性干电池4节或AC专用变压器 电池使用时间 连续12小时以上 外型尺寸 W 检测方式 泵吸式 使用温度范围 0℃～40℃ 重量 约1.3kg 附件 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张 选购件 AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件
| XPS-7对象气体一览表 | ||||||||
| 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
| XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
| XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
| XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |||
| XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm | |||
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